| 成果简介

光学相控阵芯片能够控制光束空间扫描，在激光雷达、三维扫描、三维成像、激光测距等领域具有重要应用。本成果是一种硅和氮化硅混合光波导的，大角度扫描、窄发散角的光学相控阵芯片，集成了光耜合器、分束器、PN结型和热光型相位调制器、单波导双光栅单向辐射器等。目前光束发散角0.021 X0.027度，横向市场扫描角度可以达到140度，纵向通过调节波长，可以达到19度，点点切换时间30微秒，平均功耗小于1微瓦。

| 科研团队

电子科学与工程学院宋教授科研团队

| 应用领域

激光雷达，三维扫描，三维成像，激光测距。

| 知识产权情况

授权发明专利2项